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真空泵分類介紹
根據使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:
(1 ) -般水泵,壓強可達到1.333~100kPa ( 10~760mmHg)為“粗”真空。
(2 )油泵,壓強可達0.133~133.3Pa ( 0.001~1mmHg )為“次高真空。
(3)擴散泵,壓強可達0.133Pa以下，( 10-3mmHg)為"高"真空。
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